油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變?nèi)菡婵毡�。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置，故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結構特點分為以下幾種型式。
1、旋片式真空泵：
轉子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉子槽內(nèi)裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或超高真空泵的前級泵。旋片泵多為中小型泵，產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數(shù)是單工作腔結構，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應用。例如XD型旋片式真空泵。X型旋片式真空泵。
2、滑閥式真空泵：
在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變?nèi)莘e�；y式真空泵的抽氣原理與旋片泵相似，但兩者結構不同�；y式真空泵是利用滑閥機構來改變吸氣腔容積的，故稱滑閥泵。例如H型滑閥真空泵。2H型滑閥真空泵。
3、定片式真空泵：
在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉子，泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片，當轉子旋轉時，滑片能上、下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。定片式真空泵抽速較小，有單級、雙級之分，雙級泵的極限真空可達10-1 Pa。泵的結構簡單、使用壽命較長和檢修容易，但由于其工作性能不如旋片泵，所以目前已經(jīng)很少生產(chǎn)和應用。例如2X型旋片式真空泵。2XZ型旋片式真空泵
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