(1)真空元件，如閥門、捕集器、除塵器和真空泵等相互聯(lián)接時，應(yīng)盡量作到抽氣管路短，管道流導(dǎo)大，導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑，這是系統(tǒng)設(shè)計(jì)的一條重要原則。但同時要考慮到安裝和檢修方便。有時為了防振和減少噪音，允許機(jī)械泵設(shè)置在靠近真空室的泵房內(nèi)。
(2)機(jī)械泵(包括羅茨泵)有振動，要防止振動波及整個系統(tǒng)，通常用軟管減振。軟管有金屬和非金屬的兩種，不論采用那種軟管要保證在大氣壓力作用下不被壓癟。
(3)真空系統(tǒng)建成后，應(yīng)便于測量和檢漏。生產(chǎn)實(shí)際告訴我們，真空系統(tǒng)在工作過程中，經(jīng)常容易出現(xiàn)漏氣而影響生產(chǎn)。為了迅速找到漏孔，要進(jìn)行分段檢漏，因此每一個用閥門封閉的區(qū)間，至少要有一個測量點(diǎn)，以便測量和檢漏。
(4)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中要采用新技術(shù)，做到自動控制和聯(lián)鎖保護(hù)。隨著真空技術(shù)的發(fā)展，要求在整個抽氣過程中能夠進(jìn)行自動操作，如采用真空繼電器控制羅茨泵在1333Pa壓強(qiáng)下啟動工作。采用水壓繼電器控制蒸氣流泵的水壓在某一個壓力上，當(dāng)水壓不足或斷水時，能夠立即斷電并發(fā)出警報。防止泵被燒壞。對于復(fù)雜真空系統(tǒng)和工藝過程及參數(shù)要求嚴(yán)格的設(shè)備應(yīng)采用微機(jī)程序控制，更加安全可靠。
(5)真空系統(tǒng)中配置的閥門和管道，應(yīng)使系統(tǒng)抽氣時間短，使用方便，安全可靠。一般在有一個蒸氣流泵作為主泵(擴(kuò)散泵或油增壓泵)；和一個機(jī)械泵作為前級泵的系統(tǒng)上，除了有前級管道(蒸氣流泵串聯(lián)機(jī)械泵的管道)外，還應(yīng)有一個預(yù)真空管道(真空室直通機(jī)械泵的管道)。其次是在真空室和主泵之間設(shè)有高真空閥門(也稱主閥)，在前級管道上設(shè)有前級管道閥(也叫低真空閥)；在預(yù)真空管道上設(shè)置預(yù)真空管道閥(稱低真空閥)。主泵上的高真空閥門，通常不能在閥蓋下為真空狀態(tài)，而閥蓋上為大氣壓狀態(tài)下開閥，這要通過電氣聯(lián)鎖保證安全。前級管道閥和預(yù)真空管道閥要考慮到閥本身能在大氣壓下開閥。以蒸氣流泵為主泵的真空系統(tǒng)，主閥要蓋向主泵，前級管道閥也要蓋向主泵，預(yù)真空管道閥蓋向真空室。在機(jī)械泵入口管道上，應(yīng)設(shè)一個放氣閥門。當(dāng)機(jī)械泵停止工作時，能立即打開此閥，使機(jī)械泵入口通入大氣，防止機(jī)械泵油返流到管路中，因此該閥要和機(jī)械泵電氣聯(lián)鎖。真空室上也要設(shè)置放氣閥門，給裝料和取料時用。該閥設(shè)置的位置要考慮到放氣時，氣體沖力較大，防止因沖力過大而破壞真空室內(nèi)的薄弱構(gòu)件。放氣閥的大小與真空室的體積有關(guān)，要考慮放氣時間不能太長，影響工作。
(6)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中要求做到節(jié)省能源，降低成本，使用方便可靠。做到這一點(diǎn)有很大的經(jīng)濟(jì)意義，它可使所設(shè)計(jì)的真空應(yīng)用設(shè)備有廣泛的市場銷路。
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