基于氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和原理，預(yù)設(shè)了適合使用于電真空部件氣密性檢驗(yàn)測(cè)定的檢漏平臺(tái)。電真空部件的結(jié)構(gòu)獨(dú)特的地方及勘測(cè)精密度要求表決了氦罩法和噴吹法是電真空部件氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)中最常用辦法，氦罩法標(biāo)定總漏率，總漏率越過準(zhǔn)許值后用噴吹法對(duì)漏孔正確認(rèn)位。雙回路復(fù)雜結(jié)構(gòu)和復(fù)雜串連漏孔的定位，表清楚氦質(zhì)譜噴吹法在電真空部件檢漏中的影響因素務(wù)必遵循的噴吹檢漏原則。同時(shí)，溫度、臨時(shí)嚴(yán)密封閉材料和設(shè)施材料吸附等因素會(huì)帶來一定的勘測(cè)誤差。
真空氣密性是影響微波管性能及生存的年限的主要因素之一，因?yàn)檫@個(gè)真空檢漏是真空電子部件制造工藝中靠得住性保證的關(guān)緊工序。電真空部件的獨(dú)特的地方和漏率值要求表決了其氣密性檢驗(yàn)測(cè)定主要認(rèn)為合適而使用氦質(zhì)譜檢漏辦法。氦質(zhì)譜檢驗(yàn)測(cè)定技術(shù)以其漏點(diǎn)漏率可量化、銳敏度高、速度快、運(yùn)用安全、適合使用范圍廣等獨(dú)特的地方，在航空、航天、交通工具和電真空行業(yè)獲得了廣泛的應(yīng)用。與其它好些個(gè)傳統(tǒng)檢漏辦法相形，而上海真空泵廠覺得氦質(zhì)譜檢漏具備不可以比擬的技術(shù)優(yōu)良性。氦罩法和噴吹法是電真空部件氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)中最常用的兩種辦法。氦罩法是對(duì)總漏率施行標(biāo)定，當(dāng)總漏率越過準(zhǔn)許值后用噴吹法施行漏孔的正確認(rèn)位。到現(xiàn)在為止，鮮有文獻(xiàn)對(duì)電真空部件氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)施行系統(tǒng)地研討。
因?yàn)檫@個(gè)，本文依據(jù)電真空部件的結(jié)構(gòu)獨(dú)特的地方及勘測(cè)精密度，預(yù)設(shè)了與氦質(zhì)譜檢漏儀般配的檢漏平臺(tái)，并以雙回路復(fù)雜結(jié)構(gòu)和復(fù)雜串連漏孔的定位為例總結(jié)概括了氦質(zhì)譜噴吹法在電真空部件檢漏中的影響因素以及務(wù)必遵循的噴吹檢漏原則，同時(shí)敘述分析了溫度、臨時(shí)嚴(yán)密封閉材料(乙醇、真空封泥、橡膠件)和設(shè)施材料吸附等因素會(huì)帶來的勘測(cè)誤差。
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