余擺線真空泵是余擺線型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作行星運(yùn)動，使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。余擺線真空泵由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜、制造困難，推廣使用受到一定的限制。
現(xiàn)狀余擺線真空泵由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜、制造困難，推廣使用受到一定的限制。但它運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪聲小,體積和重量小(與相同抽速的滑閥真空泵比較體積和重量均減小1/3)，比功率小。它同其他油封式機(jī)械真空泵一樣，可單獨(dú)使用或作為擴(kuò)散泵和增壓泵等的前級泵。因此，在真空冶煉、真空熱處理、真空干燥和真空浸漬，以及化工和食品工業(yè)中均可用它作為抽氣設(shè)備。
原理余擺線型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作行星運(yùn)動，使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。它主要由泵體和轉(zhuǎn)子構(gòu)成。圖為余擺線真空泵的工作原理和傳動機(jī)構(gòu)。轉(zhuǎn)子的型線為余擺線，泵腔型線為轉(zhuǎn)子型線的外包絡(luò)線。轉(zhuǎn)子上的內(nèi)齒輪與固定在泵蓋上的小齒輪嚙合。當(dāng)轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)時,偏心輪即帶動內(nèi)齒輪(即轉(zhuǎn)子)繞小齒輪作行星運(yùn)動。泵體Μ點(diǎn)永遠(yuǎn)與轉(zhuǎn)子表面接觸，將泵腔分隔成兩個工作室A和B。轉(zhuǎn)子逆時針方向旋轉(zhuǎn)，與排氣口相通的B室內(nèi)的氣體逐漸被壓縮,壓力逐漸升高。當(dāng)壓力升高到大氣壓力時，氣體即推開排氣閥排出泵外。同時，A室內(nèi)的氣體壓力則逐漸降低,于是被抽氣體從吸氣口源源不斷地吸進(jìn)，直至吸氣口被轉(zhuǎn)子表面隔離而終了。轉(zhuǎn)子連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)，泵即連續(xù)抽氣。在泵腔內(nèi)各運(yùn)動件表面間用油膜密封，所以這種泵是一種油封式機(jī)械真空泵。余擺線真空泵的極限壓力可達(dá) 1帕，在壓力為10～13帕?xí)r可達(dá)到額定抽氣速率。工作壓力范圍為10～1帕。
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