余擺線真空泵是余擺線型轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作行星運(yùn)動(dòng)，使工作室容積周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。余擺線真空泵由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜、制造困難，推廣使用受到一定的限制。
從結(jié)構(gòu)原理和使用性能來(lái)看，余擺線真空泵與同類型泵相比有很多優(yōu)點(diǎn)：
1、泵的動(dòng)平衡性好，所以泵運(yùn)轉(zhuǎn)較平穩(wěn)、振動(dòng)亦小，轉(zhuǎn)速可以提高，可以做到尺寸小、抽速大，適合發(fā)展為大抽速的機(jī)械真空泵。
2、由于吸氣管路短而粗，有利于提高低壓力下的抽速。因此，在低壓范圍內(nèi) (1 ～ l00Pa) 余擺線泵的抽速特性曲線優(yōu)于滑閥式真空泵。
3、余擺線真空泵的轉(zhuǎn)子和泵體是一對(duì)共軛齒形副的嚙合運(yùn)動(dòng)，所以對(duì)被抽氣體中含有一定量的粉塵及小顆粒等不太敏感。
4、余擺線真空泵適應(yīng)較高溫度的工作環(huán)境，可以通過(guò)溫控裝置使泵腔保持較高溫度 (即成為余擺線熱泵) ，用來(lái)抽除大量的可凝性水蒸汽。
由于余擺線真空泵在 1～l0Pa 壓力范圍內(nèi)仍具有很大的抽速，因此該泵適用于真空行業(yè)中的大排氣量裝置。目前，余擺線真空泵在真空冶金、真空熱處理、真空干燥、浸漬等行業(yè)中得到應(yīng)用。
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