由于磁懸浮軸承所體現(xiàn)出的眾多優(yōu)點(diǎn)，從20世紀(jì)70年代開(kāi)始，許多真空設(shè)備公司就開(kāi)始研究此項(xiàng)技術(shù)，使其應(yīng)用于分子泵技術(shù)領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)真空技術(shù)網(wǎng)(www.chvacuum.com)翻閱文獻(xiàn)查得：1976年，德國(guó)LEYBOLD公司開(kāi)發(fā)了世界上第一臺(tái)完全無(wú)接觸的磁懸浮軸承分子泵。其結(jié)構(gòu)與現(xiàn)在廣泛使用的磁懸浮軸承結(jié)構(gòu)有所不同，分子泵中心軸是固定的，轉(zhuǎn)子繞中心軸旋轉(zhuǎn)。但由于技術(shù)并不成熟，事故多，成本高，未能普及。直至20世紀(jì)80年代中期，日本一些真空設(shè)備制造公司，在德國(guó)的磁懸浮技術(shù)基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，開(kāi)發(fā)出結(jié)構(gòu)更為合理，性能更為先進(jìn)的內(nèi)環(huán)式旋轉(zhuǎn)磁懸浮渦輪分子泵。
剛體在空間固定時(shí)，需要控制其三個(gè)平移自由度和三個(gè)回轉(zhuǎn)自由度。對(duì)于渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子來(lái)說(shuō)，為保證其正常工作，沿軸線回轉(zhuǎn)的自由度不能限制，其余五個(gè)自由度需加以控制。磁懸浮軸承對(duì)其轉(zhuǎn)子的支撐力及自由度的控制可通過(guò)永久磁鐵及電磁鐵來(lái)實(shí)現(xiàn)。對(duì)五個(gè)自由度進(jìn)行控制的磁懸浮軸承稱(chēng)為五軸控制型，對(duì)四個(gè)自由度進(jìn)行控制的稱(chēng)為四軸控制型，同理，磁懸浮軸承還有三軸控制型、兩軸控制型及一軸控制型。磁懸浮軸承的控制軸數(shù)越多，制造成本越高，但五軸控制型磁懸浮軸承仍為發(fā)展的主流。在磁懸浮技術(shù)中，電磁力是由電磁鐵或永久磁鐵在磁路中產(chǎn)生磁通而發(fā)揮承載作用的。承載能力與電磁鐵最大吸引力有關(guān)。
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